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    無塵室污染源運轉管理維護保養

    日期:2022-09-25 05:53
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    摘要:
    無塵室污染源運轉管理維護保養     
    一、污染源控制
      無塵室潔凈度之維持和控制,除了硬設備之配合投資外,也需要良好的軟件&mdash&mdash管理制度來搭配,方能維持良好的潔凈度。無塵室內之微污染來源,經測試分析結果,作業人員占約80%,如圖1所示。實驗數據顯示,作業人員進出無塵室時塵埃有顯著增加,有人動作時,潔凈度馬上劣化,可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。
      無塵室的污染源可分為外污染及內污染源。外污染源主要包括空調送風、間隙滲入、建筑物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內污染源則包括制程設備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等,圖2為微塵粒子的傳送路徑。
      對硅芯片而言,微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路,使芯片失去運作功能,因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環節。表一為自然環境所測得的塵埃濃度,可為設計參考,而在微污染控制,其基本原則有四:
      1.外部塵埃侵入之防止:
      無塵室適當之正壓保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏氣,人員設備、原材料搬入無塵室前先做好清潔擦拭等防塵動作,空氣過濾器適當的管理和設置。
      2.室內發塵之防止:
      隔間板、地板等無塵室材料的適當選用、制程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用無塵室專用器等。
      3.室內發塵之不積留:
      墻壁體應光滑無死角、無塵室需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間。
      4.發生塵埃之排除:
      換氣次數應足夠,適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。
      人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關聯之問題、室內之空調及清掃關系之問題,這些問題將于下節祥述。
     無塵室污染源運轉管理維護保養                                                                                       
    測量地點
    微塵粒子數(個/ft3&ge0.5μm
    大氣層圈
    100
    田園地區(微風狀態)
    100,000~300,000
    住宅地區
    100,000~200,000
    辦公室(工作中)
    200,000~400,000
    工業
    400,000~1,000,000
    正在吸煙的會議室
    600,000~1,000,000
    測量地點
    微塵粒子數(個/ft3&ge0.5μm
    大氣層圈
    100
    田園地區(微風狀態)
    100,000~300,000
    住宅地區
    100,000~200,000
    辦公室(工作中)
    200,000~400,000
    工業
    400,000~1,000,000
    正在吸煙的會議室
    600,000~1,000,000
    二、無塵室運轉管理
      無塵室運轉管理,可依作業人員、原物料、設備及無塵室內所用東西等加以探討,并依計劃(planning)、實施(Doing)、追蹤(Checking)、動作(Action)PDCA循環步驟執行。
    1.作業人員之管理
      前以提及在無塵室內污染來源80%來自作業人員,因此若能使作業人員依無塵室管理,而所有人員也均能配合實施,則污染源的產生可說已減大半?,F就進入無塵室的作業人員之管理和注意事項說明如下:
     ?。?/span>1)進入無塵室之人員,必須要具備有達成高潔凈度標準,并要維持*好狀態之觀念。
     ?。?/span>2)作業人員進入無塵室數目以維持*小限度原則(愈少愈好),并須依無塵室進出標準流程進出無塵室,出則相反方向進行,唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。
     ?。?/span>3)對作業人員必須經常講解無塵室管理之數據,并加以教育與訓練,內容如無塵室管理之一般常識、無塵室之構造與功能、維護和清潔、**對策、搬運器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無塵室內之步行方式等,并經考試合格者方能進入無塵室工作。
     ?。?/span>4)在無塵室作業人員須經常保持自己各方面的干凈與清潔。
     ?。?/span>5)在無塵室內之作業人員或其它人員之移動或動作均為發塵源,其直接影響制程,同時亦會影響氣流之擾動,為防止與控制上述情形,基本上須注下列事項:
      a.不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其它作業。
      b.不必要之動作盡量避免以防止亂流發塵。
      c.與作業無關的私心談話盡量避免。
      d.為控制發塵量,人員步行及作業要靜靜地進行。表2所示為人體在不同動作時之發塵量。
      e.作業要在潔凈之工作柜或工作桌進行。
      f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中,并置放一定的場所。
     ?。?/span>6)作業人員須經常保持干凈之手,除了常洗手、剪指甲外,手并應保養,以防皮膚之剝離,男性須每天刮胡子。
     ?。?/span>7)潔凈衣要經常保持著衣之狀態。
     ?。?/span>8)下列所述者不能進入無塵室:
      a.非作業人員或事先未得許可者。
      b.未照規定穿著潔凈衣者。
      c.剛做激烈運動流汗者。
      d.吸煙或吃東西后,尚未經過半小時以上者。很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍,直至30分鐘后才降至15倍,此為為何無塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準進入的原因所在。故針對在無塵室作業人員之招募,若能選擇不吸煙者為對象,將可帶來甚大利益。
     
    &ge0.3μm
    &ge0.5μm
    一般工作服
    無塵服
    普通作業服
    無塵服
    白衣形
    全覆形
    白衣形
    全覆形
    站立(靜姿)
    543,000
    151,000
    13,800
    339,000
    113,000
    5,580
    坐下(靜姿)
    44,800
    142,000
    14,800
    302,000
    112,000
    7,420
    腕上下
    4,450,000
    463,000
    49,000
    2,980,000
    298,000
    18,600
    上身前屈
    3,920,000
    770,000
    39,200
    2,240,000
    538,000
    24,200
    腕的自由運動
    3,470,000
    572,000
    52,100
    2,240,000
    298,000
    20,600
    頭的上下運動
    1,230,000
    187,000
    22,100
    631,000
    151,000
    11,000
    屈身
    4,160,000
    1,110,000
    62,500
    3,120,000
    605,000
    37,400
    踏步
    4,240,000
    1,210,000
    92,100
    2,800,000
    861,000
    44,600
    步行
    5,360,000
    1,290,000
    157,000
    2,920,000
    1,010,000
    56,000
     ?。?/span>9)有下列健康狀態或體質者原則上不能進入無塵室:
      a.因日曬、濕診而皮膚有問題者。
      b.化學纖維或有機溶劑等化學藥品有過敏性體質者。
      c.容易出受汗者。
      d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。
      e.化妝或涂口紅者。
      f.有重大精神病、神經過敏或閉瑣恐懼者。
      g.因**、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。
      但對于有下列性格的人,則*適宜進入無塵室工作:
      a.做事細心有耐性者。
      b.勤于整理整頓,經常自己注意身邊清潔的人。
      c.經常留意自己之健康者。
      10.以下之物品不能帶進無塵室:
      a)沒有經過清潔過程之器材、零件物品、測定器等各種物品。
      b)紙箱及未經特別處理之記錄或筆記用紙、影印數據等。
      c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。
      d)香煙、化妝品、衛生紙、飲食品等。
      e)作業員個人用品如打火機、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊或其它個人物品等。
      無塵室潔凈度維持之*大控制對象為作業人員,因此對于作業人員之數目、行動狀態、進出規則之制定與執行,提高無塵室內作業人之潔凈度意識、反復教育,均為必須,表3所示為因作業人員之動作而產生污染的增加倍率。
     

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